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转轮除湿机案例_半导体行业转轮除湿机前景

日期:2020/7/21

转轮除湿机案例_半导体行业转轮除湿机前景

          最近几年,半导体产业风起云涌。一方面,中国半导体异军突起。另一方面,全球产业面临超级周期,加上人工智能等新兴应用的崛起,大批的外资企业在中国设立其制造基地,特别是近年来半导体行业的大举进入,其全新的生产工艺及生产过程中对环境温度、湿度、洁净度有较高的要求, 需要我们提供一个比较有效且比较低能耗的空调系统, 特别需要有低湿度的空调环境保证。

          半导体生产车间要求在全年四季的气候条件下,维持相对稳定的环境,包括温度、湿度、空气洁净度、气流组织,压力平衡等多个空调参数。有别于其他行业的恒温恒湿空调系统,由于电子产品对静电比较敏感和品质受高湿度环境的影响比较大,因此半导体行业要求更低的相对湿度环境。

半导体车间.jpg

          通常半导体生产车间的温湿度要求为: T=22±2°C,RH=45 ±5%;虽然采用传统的冷冻除湿 +电加热(再热)方式进行处理,也取得了一定成果。但这种方式存在一个致命的能耗问题,特别是半导体行业的大新风,大排风系统、生产环境为大空间洁净环境以及目前许多厂主要集中分布在华南和华东地区的特殊情况,使得这个问题十分突出。 针对这种情况,合肥铂克空调采用新风机组+转轮除湿机+组合式空调机组的技术方案, 达到室内送风温、湿度要求的同时,并取得了显著的节能效果。

转轮除湿机工作原理图.jpg

          冷却除湿循环系统与转轮除湿机相结合,利用制冷系统的吸热除湿进行前期除湿,而利用转轮除湿机进行深度除湿。充分发挥两者的优点,扬长避短。冷却除湿作为前期除湿,突出了冷却除湿机高露点工况下能耗低的特点,利用转轮除湿进行深度除湿,突出了转轮除湿机低温低湿条件下,不受露点限制且除湿量大的优点。

 

合肥铂克环境设备有限公司                                                        10年深耕恒温恒湿空调领域                                                        专注‖专业‖专家
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          目前,空气除湿主要有四种方式,通风除湿、冷却除湿、液体吸湿剂除湿和固体吸附剂除湿。在空调除湿系统中,冷却除湿和固体吸附剂除湿是主要手段。冷却除湿在环境对湿度要求不是很高( RH>60~ 65%)的条件下,效果还是比较好,性能稳定且能耗也比较低,目前应用比较广泛。但在生产环境对湿度要求较高(RH=45 ±5%)的地方,采用冷却除湿就明显是不经济的。采用转轮除湿机,将不受空气露点影响,且除湿量大,特别适用于低湿条件下,但如果全部除湿仅采用固态吸附原理的转轮除湿机进行,由于其再生耗能量也比较大,此种方案也不是最经济的。由于转轮除湿和冷却除湿各有所长,将其优化组合,各取所长,互补所短,会更好的发挥其效能。

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